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南科18廠5奈米全廠停產? 台積電:氣體疑似汙染 對營運無顯著影響

2021/07/30 08:03

台積電澄清:南科晶圓廠18廠僅調度氣體 生產正常。(記者洪友芳攝)

〔記者洪友芳/新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電(2330)昨晚傳出南科晶圓18廠5奈米製程全廠停產,由於蘋果是5奈米製程最大客戶,引起市場相相當矚目;台積電今早回應,南科部分廠房來自廠商供應的部分氣體疑似受到汙染,已即時調度其他氣體供應,公司為確保生產品質無虞,目前正進行嚴密後續作業,此事件目前已知對營運並無造成顯著影響,後續將持續追蹤。

據供應鏈廠商指出,台積電晶圓18廠前天晚上因供應商氧氣(O2)槽車灌充發現不純物似偏高,異於進料平均控制值,立即通報進料品質相關單位,並緊急調度純度高的O2氣體供應。

不過有晶圓廠廠務表示,O2是供應全廠的一般氣體,若有汙染並進入生產線管線,影響就比較嚴重,會影響生產良率,越先進的製程越怕污染也影響越大。汙染的O2進入生產線管線,生產就需停擺並花時間清理,生產中的晶圓也可能有的要報廢重新產出再補給客戶。

台積電也有供應廠商透露,氧氣供應牽涉製程相當廣,到今晚還有部分生產線沒有恢復正常。

台積電5奈米製程今年進入量產第2年,蘋果等主力客戶需求量逐漸放大,iPhone新機應用處理器正進入拉貨期。台積電總裁魏哲家日前法說會表示,目前5奈米製程良率良好,受惠智慧型手機與高效運算相關應用驅動,需求續強勁,預估今年5奈米製程將占晶圓銷售金額約2成。

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