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秦永沛：2023年台積電5奈米產能將較2020年增逾4倍（記者洪友芳翻攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）營運組織資深副總經理秦永沛今在該公司技術論壇中指出，，因客戶對先進製程的強勁需求，他預估台積電5奈米產能在未來3年將逐年顯著成長，2023年5奈米系列（N5和N4）產能將比2020年大幅成長逾4倍，市場預估帶動台積電營運成長可期。
秦永沛指出，台積電承諾客戶持續投資產能，以支援全球客戶的需求，在先進製程更展現優異的生產製造能力，7奈米是全球第1家量產，預估今年包括7奈米、7奈米加強版、6奈米產能，將比2018年大幅成長超過4倍。
他說，5奈米去年量產，也是全球全球第1家量產的公司，大量採用EUV製程，進一步降低功耗與晶片效能更佳，預估將逐年顯著成長，到2023年， 5奈米系列（N5和N4）產能將比2020年大幅成長逾4倍。2018到2021年，5、7、16奈米的先進製程技術產能複合成長率將增加30%以上。
秦永沛表示，5奈米系列的D0（Defect density，缺陷密度）改善比7奈米更具挑戰，目前5奈米的D0比0.1還好，先進製程EUV技術的廣泛使用是關鍵，去年台積電裝設EUV機台設備約佔全球EUV技術產能的一半，占全球累計晶圓移動數量的65%，代表經驗累積與能力提升，也是成熟指標，另今年台積電的EUV光罩護膜產能將是2019年的20倍，以滿足大量量產的需求。
在特殊製程技術製造方面，秦永沛表示，台積電在特殊製程包括電源管理、混合訊號、感測器、指紋辨識、e快閃記憶體等等，預估產能將比去年成長12%，特殊製程佔成熟製程產能將較2018年成長45%。
秦永沛特別介紹超大晶圓廠區，位於臺灣台南廠區的晶圓18廠，前3期廠房正量產N5製程，第4期正在施工也將生產N5製程。18廠的5到8期廠房，未來將是N3的生產基地，正在預備中，14廠的第8期，將是未來特殊技術製程廠房，另有封測廠，也正施工中。
在新竹廠區，秦永沛表示，台積電計劃提高3奈米與2奈米的開發和生產效率，原先規劃的研發中心將改為晶圓12廠第8期、9期，8期將於今年完成。也計劃建造生產2奈米製程的新晶圓廠，目前正在進行土地取得程序。
他說，美國廠位於亞歷桑納州鳳凰城機場的北邊，第1期正在興建中，預計2024年採5奈米量產，月產能2萬片，也是全美第1座5奈米晶圓廠。
先進封裝與測試營運方面，台積電正擴大在臺灣竹南的凸塊（bumping）製程、測試與後段3D先進封裝服務的產能，該廠區目前正在施工，總面積是目前4個先進封測廠的1.3倍，將於2022年下半年開始進行TSMC-SoIC ™的生產。過去3年中，CoWoS 的產量成長25%。
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