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全台第1片8吋Sic晶圓 華旭半導體展亮相

2023/09/07 11:21

碩禾(3691)旗下子公司華旭矽材(6682)切入碳化矽領域,在半導體展中,展出全台第1片8吋碳化矽晶圓,右為碩和總經理兼華旭董事長黃文瑞,左為華旭副總鄭樵陽。(記者張慧雯攝)

〔記者張慧雯/台北報導〕碩禾(3691)旗下子公司華旭矽材(6682)切入碳化矽領域,在半導體展中,展出全台第1片8吋碳化矽晶圓,碩和總經理兼華旭董事長黃文瑞表示,2021年開始建置再生晶圓及6吋、8吋碳化矽晶圓設備,6吋碳化矽晶圓今年首季已開始量產,著眼長期趨勢市場朝8吋方向發展,華旭也已製造出全台第1片8吋碳化矽晶圓。

目前台廠業者以4吋和6吋產品為主,不過,不少國際大廠相繼投入8吋市場,包括Wolfspeed去年宣布啟用全球最大8吋碳化矽新廠、日本昭和電工8吋碳化矽磊晶晶圓也有樣品、中國晶盛機電也在去年8月宣布8吋長晶晶體出爐。

黃文瑞表示,華旭投資1.5億元引進德國磊晶(Epi)設備,是德商在全亞洲的第1台,9月開始試產,可以生產6吋與8吋碳化矽晶圓,機器設備1.5億元,加上週邊的基礎設備,進軍碳化矽磊晶共投資超過2億元,目前月產能為2000片,預計需求增溫則明年下半年再增購1台設備,希望明年第4季月產能達到4000片。

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