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台積電前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電去年已量產的五奈米製程全採極紫外光（EUV）微影設備，領先全球半導體業，英特爾尚未進入EUV量產；台積電前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅昨透露，其實約二十年前，英特爾就率先與五家廠商組EUV研發聯盟，台積電當時無法加入，改採浸潤式（Immersion）微影技術，反而超越英特爾，他也歡迎英特爾加入清大半導體學院的產學合作行列。
林本堅透露，英特爾很早就與摩托羅拉、AMD、IBM等共六家企業一起成立EUV LCC聯盟，但最後一家位子被IBM搶到，台積電被擋在外無法加入，後來台積電想辦法，改採浸潤式微影技術。
林本堅說，EUV研發技術難產，直到目前的五奈米才採用，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾外，其他五家並沒有再持續參與研發EUV，還跑來問台積電要不要加入；台積電採浸潤式微影技術，建立很好的團隊，穩紮穩打，反而後來居上，超越英特爾。
林本堅指出，半導體應用範圍越來越廣，量也很大，競爭就是以最低的成本達到最高效果，這才是挑戰，不一定從縮小著手，因成本很貴，划不來，若有別的辦法更能降低成本，就用別的辦法；但這也不代表半導體技術不需要微影，中芯雖因美國管制，無法取得EUV微影設備，但現有設備要做到五奈米應該沒問題，但技術上實際要看功力而定。
被問到學院未來培養人才是否會全被台積電吸走？林本堅說，學院提供各家廠商有機會跟學生接觸，有機會跟教授合作，學生不只看到台積電，也可以多接觸其他廠商，「各家廠商自己要努力，才能吸引人才」，包括好的薪酬、未來發展、「不要太操」等。
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