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台積電臨時董事會核准於不超過美金4.328億元，持股10%EUV光罩設備公司IMS。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電今（12）日召開臨時董事會，通過重要決議案，核准於不超過美金4.328億元（約新台幣138.7億元）的額度內，自英特爾（Intel）取得10%的EUV光罩設備IMS Nanofabrication Global, LLC股權。
台積電表示，2012年以來，公司與IMS合作開發支援先進製程技術的多重電子束光罩寫入設備，此項投資延續台積電與IMS之間的長期合作夥伴關係，以加速創新並實現更深入的跨產業合作。
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