晴時多雲

艾司摩爾自稱微影設備 認證中國叫光刻機

2022/06/29 21:20

台灣艾司摩爾主管指出,該公司都稱微影設備,光刻機則是中國的叫法,台灣半導體業都稱為曝光機。(路透;本報資料照)

〔記者洪友芳/新竹報導〕半導體設備商艾司摩爾(ASML)所銷售微影(Lithography)設備居全球市占率最高,生產先進製程最關鍵微影設備極紫外光(EUV)更是全球獨家供應,台灣艾司摩爾主管今指出,該公司都稱微影設備,光刻機則是中國的叫法,台灣半導體業都稱為曝光機。

台灣艾司摩爾主管表示,Lithography此字來自古希臘語 λίθος,lithos 為石頭意思,γράφειν,graphein '書寫')為一種平版印刷法,代表刻在石版上,中國直接翻譯為光刻機,「光刻機是中國說的,台灣半導體業界不會這樣說,稱曝光機或有的講Stepper」。

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