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綠能總經理林士源表示「晶片線切割機流體穩定過濾裝置」已獲得到中華民國專利，並已在中國專利審查過程，預估將可進一步取得認可。（記者張慧雯攝）
〔記者張慧雯／台北報導〕繼之前拋光技術獲五國專利後，綠能（3519）今日宣布獨創晶片切割設備，再以「晶片線切割機流體穩定過濾裝置」獲得發明專利，凸顯綠能高階技術能力。
綠能表示，晶片切割良率與產出率，是成本控制與晶片品質的重要關鍵；切片製程的細微碎粒，將造成目視難及的晶片瑕疵。綠能以高階晶片為主，需要全數排除可能瑕疵，以確保客戶端製程順暢，前一代設備因無過濾效果，除需定期清理切片設備，且因機體沉重，拆卸費時費工，影響產出效率。
而為了兼顧良率並增加產出量，綠能研發專屬切片技術，以新式穩定流體與快拆過濾裝置，搭配特殊設計噴嘴，過濾細小碎晶，加上切削液不易殘留且拆卸輕便，可提高切片良率並降低保養工時，減少料源耗損，同步降低製造成本。
綠能指出，此專利技術「晶片線切割機流體穩定過濾裝置」已獲得到中華民國專利，並已在中國專利審查過程，預估將可進一步取得認可。
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