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台積電將在本土開始1.4奈米晶圓生產的第一步，但似乎不會依賴ASML尖端且價格高昂的高數值孔徑EUV曝光機，原因可能是這些設備價格高昂。（彭博）
〔財經頻道／綜合報導〕台積電將於2025年底開始生產2奈米晶圓消息大底已確定，而根據最新報導，台積電也將在本土開始1.4奈米晶圓生產的第一步，但似乎不會依賴ASML尖端且價格高昂的高數值孔徑High-NA EUV曝光機，原因可能是這些設備價格高昂。該公司將採用複雜的多重曝光技術，而這種替代方案的缺點是耗時耗力，成本高昂，而且初期良率難以保證，迫使台積電不得不採取「試錯」（trial and error）的方式，逐步改進其1.4奈米製程
台積電將於今年年底在台中破土動工建設1.4奈米製造廠，但預計要到2028年下半年才能實現量產。該公司的A14製程可將功耗降低高達30%。
1.4奈米製程的研發將在台積電位於新竹的工廠進行，其台中工廠的招募工作也已啟動。三棟建築的施工許可證已於8月發放。為實現這項計劃，台積電的初始投資可能高達1.5兆新台幣，其中很大一部分可能用於在2027年購買30台EUV曝光機。
專家Dan Nystedt在X的最新貼文中表示，台積電不會購買ASML的任何高數值孔徑EUV設備，原因可能是這些設備價格高昂。每台設備售價4億美元，對台積電來說，這是一項耗資巨大的工程。台積電先前曾表示，其現有硬體能夠量產1.4奈米晶圓。
根據wccftech報導，台積電可能會採用複雜的多重曝光技術，類似於中芯國際在開發其5奈米製程時所採用的技術。這種替代方案的缺點是耗時耗力，成本高昂，而且初期良率難以保證，迫使台積電不得不採取「試錯法」的方式，逐步改進其1.4奈米製程。
然而，台積電與中芯國際最大的區別在於，台積電已經擁有專門的EUV設備來實現這一點，而且由於距離量產還有幾年的時間，因此它有充足的時間來完善這一尖端製程。
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