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外資看好台積電的製程技術超過三星，可望再取得蘋果大單。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／台北報導〕隨著10奈米製程投資門檻高，半導體微顯影曝光設備龍頭廠商艾司摩爾（ASML）指出，全球僅有5家大廠買極紫外光微影（EUV）投入研發，其中一家是台灣廠商，預估後年可導入量產。
業界推估，ASML所指的台灣客戶，應為台積電（2330）；台積電對外早已宣布，10奈米製程技術研發進展順利，預計明年展開試產、後年導入量產，為了加快10奈米研發速度，台積電還破天荒進行「夜鷹計畫」，研發工程師接力值小夜班或大夜班，技術研發24小時不間斷。
3年前，台積電對EUV設備效能不滿意，但今年設備效能已大有進展，ASML亞太區技術行銷協理鄭國偉表示，EUV目前供應10奈米及更先進製程研發使用，已升級到第三代，目前已出貨6台，因每台售價達新台幣3億元，全球僅5家客戶有能力進入10奈米的研發，其中台灣一家客戶購置2台。
鄭國偉指出，EUV微影技術已能滿足客戶研發需求，可協助客戶有效降低成本，原預計今年底每天可曝光500片晶圓，但上月底已有美國與台灣各一家客戶每天曝光超過600片晶圓，後年達每天曝光1500片的量產進度，可望順利達成。
外資巴克萊亞太區半導體首席分析師陸行之昨於半導體設備展中指出，三星擴產14奈米製程雖積極，但預計明年底月產能5到6萬片卻約有一半生產自家晶片，顯然對蘋果、高通的訂單不敢抱太大希望，加上第一年量產14奈米製程，良率與價格都不會太好，預估蘋果A9處理器採用三星14奈米製程的機會不高，較看好台積電技術能力的接單機會。
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