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電子束檢測設備主要是對晶圓進行掃描檢測缺陷，找出缺陷並進而幫助提高良率，因光學檢測解析度有限，約在六十五奈米製程就會遭遇瓶頸，漢微科的電子束檢測採跳躍式結合電子槍技術，適用四十、二十八、二十及十奈米等先進製程晶圓缺陷檢測。
先進製程是全球晶圓廠及記憶體廠投資佈局的重心，市場估每五千片產能就需搭配一台電子束檢測設備，今年全球電子束檢測設備產值將超過兩億美元，需求並將持續增加。
漢微科於一九九八年成立於美國矽谷，花了五年才成功研發出第一台檢測設備，並突破光學技術瓶頸，推出以電子束（E-beam）為核心技術的檢測機台，其中電子槍專利為獨家的領先技術。
但初期多數晶圓廠仍慣用國外廠商的產品，漢微科只好先搬給客戶試用，性能被肯定後才下單購買，第一家客戶是台積電；漢微科成立的前十年因銷售有限，持續虧損，一度還減資，直到二○一○年才轉虧為盈。
（記者洪友芳）
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