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美禁令下 先進晶片難產/買不到EUV 專家︰中國改良DUV也難突圍

2023/10/05 05:30

中國買不到全球僅荷蘭設備廠商艾斯摩爾(ASML)生產的極紫外光(EUV)微影機,製造更先進晶片陷入困境。(彭博檔案照)

〔編譯盧永山/綜合報導〕根據香港《南華早報》報導,華為新款智慧手機Mate 60 Pro搭載自研的處理器晶片,並由中芯國際以七奈米製程生產,讓中國半導體業看到突破美國制裁的希望;但專家指出,由於中國買不到極紫外光(EUV)微影機,在製造更先進晶片方面困難重重。

報導說,加拿大產業研究公司TechInsights和日本拆機研究機構Fomalhaut Techno Solutions在拆解Mate 60 Pro後均認為,中芯是用現有的十四奈米深紫外光(DUV)機台不斷改良,甚至融入特殊技術,才製造出性能堪比七奈米的處理器晶片,這凸顯難以取得更先進的EUV,已成為中國推進半導體產業的主要障礙。

即使中國花了數年時間尋求半導體產業自力更生,但製造先進晶片所需的EUV,全球僅荷蘭設備廠商艾斯摩爾(ASML)供應;業內人士指出,在可預見的未來,中國不可能製造出這種複雜的機器。

美國自二○一九年以來就禁止向中國出口EUV,艾斯摩爾自二○二四年一月起,更將禁止向中國出口二○○○系列浸入式DUV,將進一步威脅中國晶圓代工廠擴張計畫。

中國多年來致力於開發自家的微影設備,並將希望寄託在國有企業上海微電子裝備集團(SMEE)身上,但該公司迄今最好的SSA600/20掃描器只能實現十奈米微影分辨率,遠遠落後艾斯摩爾和日本尼康等同業。

中製設備 只能用於學術研究

中國電子生產設備產業協會副秘書長李金祥坦承:「我們在微影設備方面還有很長路要走,中國沒有一條晶片生產線配備國產微影設備,國產的大多只用於學術研究。」

歐布萊特石橋集團中國區高級副總裁崔歐洛(Paul Triolo)表示,中國正在開發與EUV有關的關鍵技術,但至少還需要四至五年時間才能建立一個全國產、具有商業價值的系統。」

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