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鋒魁董事長張錦發昨表示，隨著晶圓廠產能逐漸開出，預估明年真空幫浦設備將大缺貨。（記者洪友芳攝）
鋒魁︰估明年大缺貨
〔記者洪友芳／新竹報導〕半導體晶圓廠供不應求，持續投資擴產，不僅生產設備交期拉長，連晶圓廠無塵室的真空幫浦設備需求也大增，不僅難買到，連交期都拉長超過1年；鋒魁（7530）董事長張錦發昨表示，隨著晶圓廠產能逐漸開出，預估明年真空幫浦設備將大缺貨。
張錦發表示，28奈米月產3萬片的晶圓廠，需2000台到2500台乾式真空幫浦，3奈米則需求超過5000台乾式真空幫浦設備。根據SEMI預測報告指出，未來兩年全球將新蓋29座晶圓廠，以台灣與中國居多，這些新廠產能全部開出後，每月共可生產260萬片約當8吋晶圓，預估未來5年半導體真空幫浦商機將達每年新台幣800多億元，還有面板、太陽能市場也均有需求。
真空幫浦設備是為晶圓廠主機台設備提供無塵負壓環境、抽除化學氣體的關鍵設備，長期由Edwards、Kashiyama、Ebara三大日本與英國品牌分食市場；張錦發表示，一台乾式真空幫浦設備售價約2萬-3萬美元，鋒魁原以維修與耗材為主，客戶群包括台積電（2330）等，近幾年公司投入設備研發有成，已開始供應真空泵浦設備給台灣與中國晶圓廠商，也有幾家正驗證中。
鋒魁主要法人股東包括帆宣（6196）、辛耘（3583），共持股28%，目前真空泵浦新設備年產能約400台，因客戶擴產與汰換舊設備的整整體需求強勁，公司正籌備展開擴產，目標擴增600台，為目前1.5倍，屆時年產能將達1000台。
鋒魁因投入設備研發，過去2年營運處於虧損，今年上半年已轉虧為盈，每股稅後盈餘0.3元，全年可望賺達1元，法人預估明年營收與獲利可望較今年倍增。
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