晴時多雲

林本堅 發明浸潤式微影技術

2021/04/12 05:30

台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。(記者洪友芳攝)

記者洪友芳/特稿

光學微影是半導體重要的關鍵技術,林本堅被稱為微影技術的先驅者,當前全球半導體高階製程所用的浸潤式微影技術,就來自他的發明;他也是中研院第一位產業界出身的院士。

中研院首位產業界出身院士

林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間,帶領團隊創造出許多領先全球的技術;從IBM退休後,他在美國自行創業近十年,二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請下加入台積電;二○○二年間,他改以水為介質,研發出浸潤式微影取代乾式微影,讓台積電成功引領全球半導體業技術走向,得以推進製程至今。

半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產,設備大廠艾司摩爾(ASML)也跟著轉向,全球業界跟進;從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術,該技術已躍為全球半導體業量產技術主流,更讓台積電技術領先英特爾、三星,居全球半導體領導地位。

林本堅獲獎無數,除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外,更當選美國國家工程學院院士、國際電機電子工程師學會(IEEE)西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士:二○一八年底,有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎,還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學獎項,顯見他在業界的重要地位。

林本堅二○一五年十一月自台積電退休,原規劃輕鬆過日子、專心傳教,沒想到清大找他去教書;他說現在好像跟當初來台灣一樣,有很多喜歡的事要做,時間不夠分配,除了教課外,還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟,加上每週打兩次網球、每月最後一週負責教會講道等;林本堅笑說:「退休後更忙碌。」

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