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台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣 可蓋電廠利用發電

2021/04/12 05:30

台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。(記者洪友芳攝)

〔記者洪友芳/新竹報導〕半導體業先進製程進入極紫外光(EUV)微影技術時代,台積電率全球業界之先,在七奈米、五奈米製程成為第一家採EUV製程的半導體廠,超越英特爾、三星,但EUV耗電大也被視為一大隱憂。台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅指出,昂貴的EUV機台設備不僅花費多、耗電也多,氫氣用量也相當多,生產後的氫氣足以建氫氣發電廠,他建議政府可將氫氣發電列為發電能源。

EUV是七奈米及其以下先進製程必要的關鍵設備,全球能生產製造EUV機台設備的僅荷商艾司摩爾(ASML),每台售價超過三十億台幣,非常昂貴,台積電在南科十八廠的五奈米製程首度全採用EUV,估計去年就裝機逾三十台,帶動台積電資本支出逐年攀新高;EUV因光源反射過程耗損大,能源轉換極低,耗電量相當大。

發明浸潤式(Immersion)微影技術改寫全球半導體業發展的林本堅表示,隨著半導體技術往先進製程發展,「微影勢必要跑到EUV」;他說,半導體廠要進入EUV擁有「五多」條件,包括昂貴設備需要花很「多」錢、龐大設備需求空間也「多」、用水「多」、用電「多」、需求氫氣也很「多」。

氫氣發電無二氧化碳等汙染

林本堅舉例,他在台積電還沒退休、約五年多前,當時公司內的EUV設備可能只有二到三台,但廠區加上其他設施每天使用氫氣量約要運送一輛槽車,以目前EUV設備機台數,恐要幾十輛槽車氫氣用量,如此用量,足以支持建一個氫氣發電廠;氫氣發電不會有二氧化碳等汙染問題,國外已有氫氣發電廠,這當然也要看成本,但他認為應該划得來。

林本堅建議,政府可協助規劃用地建氫氣發電廠,不只台積電用到氫氣,其他半導體廠也都要使用氫氣,集中起來變發電廠就是最好的綠色能源。

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