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<熱門話題>科學園區大戶台積電 憂心再生水問題

2018/04/23 06:00

南科將是台積電投資興建5奈米與3奈米的重要基地,最擔心再生水恐牽動晶圓廠生產品質與良率。圖為目前的超級廠區14廠。(記者洪友芳攝)

記者洪友芳/專題報導

晶圓代工龍頭廠台積電(2330)佔台灣科學園區高達近4成產值,先進製程5奈米、3奈米新廠確定留在台灣,續在台南科學園區投資興建,政府能否確保用水與供電穩定無虞是台積電最重視的課題,尤其最擔心再生水將首度用在工業生產,恐牽動晶圓廠生產品質與良率。

再生水首度應用在工業 台積電最憂慮

台積電近幾年每年投資上百億美元,晶圓廠建置以臺灣為主,目前擁有3座最先進的12吋晶圓超級廠區、4座8吋晶圓廠及1座6吋晶圓廠,各分佈在竹科、中科與南科。

台積電去年合併營收為321.05億美元,以美元計年成長9%,折合新台幣為9,774.47億元,佔科學園區去年營收2.46兆元近4成產值;預估今年營收年成長達10%,年營收可望超過1兆元新台幣大關。

台積電是驅動台灣科學園區成長的主要引擎,去年10奈米製程在中科廠區量產為主,今年7奈米製程也在中科廠區量產為主;台積電5奈米新廠已在南科動土,預期後年量產,估計包括竹科與南科廠總投資額約7千億元,其中南科晶圓廠投資約5千億元,3奈米廠預計2年後也在南科興建。

南科平台討論水電供應 台積電主動參與

建廠用地確定,接下來是政府要落實對台積電供應穩定水電的承諾,但台積電內部還是擔心,主動請求參與行政院國發會特別成立的南科運作平台,每季開會討論水電等供應事宜,台積電派副總經理級高階主管參加,了解問題與共商對策。

據了解,台積電5奈米、3奈米完全量產後,水電量需求量大,以用水而言,每日用水量約為南科目前總用水量的5成以上,為解決用水問題,政府相關部門提出自來水與再生水等用水方案,但再生水用在生活上較沒問題,而目前半導體晶圓廠生產都用純水,5奈米製程更是先進製程技術,台積電擔心再生水執行業者從設計到施工能否去除雜質,這關係到生產品質與良率,若能力做不到,對台積電是一大生產風險。

南科管理局表示,針對用水問題,屆時水處理廠若水質不合格,將會約定不送給廠商使用,並會調配自來水供應;變電所也會提高用電容量,以滿足台積電在南科投資設廠的用水用電需求。

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