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日本JSR株式會社在新竹湖口設立「先進平坦化製程解決方案聯合研究中心」。這座新研究中心配備應用材料的先進CMP設備，就近與台積電等客戶進行全面的材料測試與製程驗證。（JSR提供）
〔記者洪友芳／新竹報導〕全球最大光阻液及研磨液大廠日商JSR株式會社與設備大廠美商應材共同成立「先進製程平坦化解決方案聯合研究中心」，今（15）舉行啟用典禮；台積電研發副總經理章勳明致詞妙喻，一名米其林大廚需要結合高級廚具與良好食材，才能做出米其林等級料理，台積電將像是大廚，應材與JSR就近在湖口設立研究中心，就像高級廚具與良好食材，三者完美配合，將能使台積電做出如同米其林等級的料理。
章勳明表示，在半導體製程中，應材提供化學機械研磨（CMP）關鍵設備，JSR則提供研磨液，兩大廠商都是台積電未來加速先進製程進程的重要供應商。他比喻台積電就像是一名米其林大廚，應材設備就像是高級廚具，JSR研磨液像良好的食材，三者完美配合，才能做出如同米其林等級的料理，也就是最先進製程的晶片。
章勳明說，今天聯合中心落成，就像是提供一個更先進、更完備的廚房，可以去發揮更多創意，創造更多原本不可能的技術。AI快速發展時代，先進晶片的需求越來越高，技術挑戰也越來越大，要求在12吋晶圓磨完CMP之後，表面平坦度必須控制在1奈米以內，這就像一座棒球場的地面凹凸起伏，必須小於一根頭髮的厚度，這工程難度正是現今先進製程的基本要求。
章勳明表示，台積電將與應材和JSR，在設備、研磨液及材料更加緊密合作，這不僅代表跨國與跨企業合作的重要性，同時也表示國際大廠持續來台發展半導體技術的趨勢更加明顯，台積電深耕台灣的決心。他非常期待很快能看到三方在該中心的成果，實際應用在台積電最先進的晶片上，讓大家的手機與電腦效能更好，也讓全球AI加速發展。
章勳明回並憶，他在30多年前加入台積電時，是公司第一位CMP工程師，當時是從研磨6吋晶圓開始，隨著半導體世代的演進，今天已進入12吋晶圓。CMP的供應商也從當年百家爭鳴，經過長期競爭之後，現在只剩下少數幾家能夠脫穎而出的佼佼者，應材與JSR就是其中非常傑出的供應商。
章勳明表示，從0.13微米到今天進入奈米等級，應材一直是台積電在CMP領域非常關鍵的設備夥伴，並且持續以先進技術支持台積電製程往前推進；CMP技術的開發過程中，台積電也很早就與JSR展開合作，曾共同開發新一代研磨液，尤其在銅製程上的突破，讓團隊在2005年獲得台積電第一屆創新改革獎，他記得那獎金蠻高的。
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