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中國傳出突破技術門檻打造出EUV原型機，慘遭ASML打臉。（路透）
〔財經頻道／綜合報導〕中國傳出突破技術門檻打造出EUV原型機，被視為中國版「曼哈頓計畫」，引起業界關注，還有人說可能動搖荷蘭半導體設備巨擘ASML的地位。ASML 執行長福克（Christophe Fouquet）接受荷媒專訪直言，「我們看不到中國已接近這一水準的任何證據」，並稱「中國已8年沒有 EUV 的存取權，他們落後8代之多。」
有關中國傳出自行打造國產EUV出現重大進展一事，福克接受荷蘭《電訊報》 （De Telegraaf）專訪指出，中國已經有8年無法取得 EUV 存取權，因此在製程世代上落後了8代。中國主要將重心放在主流晶片上，在這一領域確實取得進展。由於投入資金規模極大，這些努力正逐步對全球產業的平衡產生影響。
記者問及，在美國有一種觀點認為中國必須持續依賴西方技術，但不能形成無限擴大的鴻溝。因為一旦差距過大，一個國家就會嘗試自行建構完整的技術體系。
對此，福克強調，在 EUV 領域則不是如此，我們看不到他們（中國）已接近這一水準的任何證據；這更可能是10年的問題，而不是3年。不過，在其他技術門檻較低的領域，中國確實已取得一定成果。
至於ASML是否有針對中國打造國產EUV一事與主管機關進行討論？福克證實，「討論的層級很高，但我們不會點名。我們的角色是解釋這項技術的運作方式：它（EUV）有多複雜，開發需要多少時間。」
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