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一批艾司摩爾前員工為中國打造EUV原型機。（路透）
〔編譯魏國金／台北報導〕路透日前披露，中國為突破美國半導體技術封鎖，祕密進行「中國曼哈頓」計畫，透過逆向工程，成功打造製造先進半導體的極紫外光機（EUV）原型機。路透進一步披露，負責打造EUV原型機的艾司摩爾（ASML）前工程師皆以變造的身分工作，而未能取得德商蔡司（Carl Zeiss）的光學系統，是該原型機大幅落後艾司摩爾EUV的關鍵原因。
兩名知情者說，一名被招聘從事該計畫的前ASML華裔資深工程師，驚訝發現他除了豐厚的簽約獎金，還有一張化名身分證。當他進入深圳戒備森嚴的實驗室開始從事該計畫後，認出其他前ASML同事，他們也以假名工作。另一人獨立證實，招聘來的科學家取得假身分證，以向內部其他工作人員隱匿身分。
他們說，北京的指示很明確：基於國安機密，該建物之外，沒有人可以知道他們在什麼事，甚至完全不知道有這批人存在。他們也說，該團隊包括近期退休的前華裔ASML工程師與科學家，這些人是首要目標，因為他們握有敏感的科技知識，而離職後的職業限制較少。
兩名現在在荷蘭ASML工作的華裔員工表示，至少從2020年開始，華為招聘人員就開始接觸他們。
知情者透露，ASML的老將使深圳的突破成為可能，沒有他們對EUV技術的深入了解，逆向工程是不可能成功的。
路透檢視中國政府文件顯示，相關招募是中國2019年向海外挖角半導體專家的計畫一部分，該計畫提供300萬至500萬人民幣（台幣1343萬至2238萬元）簽約獎金以及購屋補貼。被招聘者包括ASML前光源技術主管林楠，他在中國科學院上海光學精密機械研究所的團隊，於18個月內申請了8項EUV光源相關專利。
知情者說，中國的EUV原型機相較ASML的機器顯得粗糙，但足以進行測試運轉。中國的落後主要在於，研究人員無法取得德國蔡司公司的光學系統，蔡司是ASML的關鍵供應商。
兩名知情者透露，中國拆解舊的ASML機器，並透過二手市場向ASML供應商採購，以取得零組件。中國有時也會利用中間商網絡來掩蓋最終買家身分。事實上，原型機也使用了日本尼康與佳能遭出口管制的元件。
他們透露，一個約100名大學畢業生的團隊專門對EUV以及深紫外光機（DUV）進行逆向工程，每人的工作區都裝有監視器，紀錄他們拆解、組裝零件的過程，知情者稱，這對EUV的打造至關重要，成功組裝零件的員工將獲得獎金。
4名消息人士表示，雖然EUV計畫由中國政府主導，但華為參與供應鏈的每一環節。華為執行長任正非會向中國領導高層報告進展。
華為在中國各地辦公室、晶圓廠與研究中心派駐員工，以推展該計畫。知情者說，被派往半導體團隊的員工常睡在廠區內、工作期間禁止回家，處理更敏感任務的團隊還限制手機的使用。
在華為內部，很少員工知道該計畫整體內容。一名消息人士說，「團隊間彼此隔離，以保護計畫的機密性；他們不知道其他團隊在做什麼」。
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