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台積電無塵室空調優化風機效能，2奈米廠年省156萬度電。（資料照）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）持續投資建廠，積極在新廠找尋節能減碳機會點，針對無塵室內輸送空氣的風機過濾組（FFU），攜手供應商在不改變尺寸及運轉需求的前提下，成功優化風機結構，將運轉效率由55%提升至60%以上，經實測單一廠區平均年省156萬度電、減少805公噸二氧化碳當量；今年9月該技術已導入晶圓二十廠第1期與第2期廠區、晶圓二十二廠第1期與第2期廠區、先進封測七廠第1期廠區，共計約4萬4000台，持續實踐綠色創新。
台積電表示，晶圓廠房內的無塵室需保持極高的空氣潔淨度，風機過濾組能有效過濾空氣中的微小顆粒，維護製程環境品質。為精進運轉效能，公司優化風機過濾組的設計，將直流無刷馬達的結構由內轉式改為外轉式，以增強轉軸的力矩，確保風機運作所需的高扭矩性能；同時，將扇葉直徑從400公厘延伸至448公厘，增加出風截面積，強化氣流的穩定性。此外，結合渦殼風道流場模擬，有效減少擾流、提高出風量，進一步提升空氣循環效率並降低能耗。
台積電表示，持續擴大節能範疇，除改善風機輸送效能外，也評估膜板加濕器及空氣濾網的設計與材質改進方案，以測試其節能減碳的可行性；透過確保製程穩定的同時，全面提升空調系統的能源使用效率，實現綠色製造的永續目標。
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