台積電水管理創新研發發功 年省1.02億

2025/06/30 15:52

台積電去年將創新研發「氨氮廢水分流查核處理系統」成功導入晶圓二十廠第一期廠區。(記者洪友芳攝)台積電去年將創新研發「氨氮廢水分流查核處理系統」成功導入晶圓二十廠第一期廠區。(記者洪友芳攝)

〔記者洪友芳/新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電(2330)去年將創新研發「氨氮廢水分流查核處理系統」成功導入晶圓二十廠第一期廠區,估計有效降低外排廢水導電度40%、化學藥劑減量30%,年減碳8950公噸,綠色效益達新台幣1.02億元,為廢水資源化管理樹立新標竿,此系統已列入未來新建廠區標準設計,並逐步導入7奈米以下製程的晶圓廠,以提升廢水處理效率。

台積電在新出爐的ESG(環境、社會責任、公司治理)電子報中指出,呼應聯合國永續發展目標(SDG)第六項─淨水與衛生,公司致力實踐水資源永續管理。為降低製程排放水的導電度及化學藥劑使用量,台積電去年創新研發「氨氮廢水分流查核處理系統」,透過「精準分流、查核管理、循環再生」三階段流程,將低濃度廢水導入生物處理系統,讓氨氮做為微生物的氮源進行再利用;高濃度廢水則採用脫氣膜技術處理,將氨氮轉化為硫酸銨,落實資源再生。

台積電於去年六月將該系統成功導入晶圓二十廠第一期廠區,有效降低外排廢水導電度40%、化學藥劑減量30%,預估年減碳8950公噸、綠色效益達新台幣1.02億元,為廢水資源化管理樹立新標竿。

台積電表示,過去主要將機台排放的不同濃度氨氮廢水混合後統一處理,由於混合後的廢水濃度偏低,須先利用逆滲透技術提高氨氮濃度,再以脫氣膜技術強化去除效率;然而,逆滲透流程需額外的化學藥劑與設備運作成本。

為了友善環境並減少藥劑使用,台積電濕式清洗製程與廠務團隊共同開創「氨氮廢水分流查核處理系統」。第一階段是透過分析製程機台的排水行為,制訂濃度梯度分流規則與建立資料庫,精準辨識不同濃度的氨氮廢水;第二階段是開發機台內聯管查核方法,完成晶圓二十廠第一期廠區約1000台機台、共5887個排水點的分流查核,並優化排水配置及軟體設定,確保不同類型的廢水安全輸送至適合的處理措施,優化管理效率。

台積電說明,經過前二階段的改良,無需經過逆滲透流程,氨氮廢水濃度已提升至原先的二倍,可有效降低藥劑用量、廢棄物產生並節約能源;進入第三階段,團隊進一步反覆測試,掌握氨氮濃度、水量、硫酸銨濃度、排放氨氮濃度之間的最佳比例,將不同濃度的氨氮廢水分流至生物處理系統與脫氣膜,再分別轉化為微生物營養源及硫酸銨,展現資源循環新價值。

台積電表示,氨氮廢水分流查核處理系統運作機制是水管理新突破,該系統已列入未來新建廠區標準設計,並逐步導入7奈米以下製程的晶圓廠,精進廢水處理效率;同時,公司積極探索低濃度含氟廢水轉化為高純度冰晶石的可行性,透過創新技術驅動資源循環,落實水管理的永續願景。

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