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清大團隊雷射低碳製造技術 為半導體先進製程低碳淨零注入新動能

2025/06/11 15:06

清華團隊與台大與國儀中心合作,研發出可在常溫常壓下直接在曲面鍍膜的創新技術。左起為動機系Dr. Swami Siddharth、李明蒼教授,碩士生吳承穎、吳承晏、高尚祐及博士生黃毓勛。(清大提供)清華團隊與台大與國儀中心合作,研發出可在常溫常壓下直接在曲面鍍膜的創新技術。左起為動機系Dr. Swami Siddharth、李明蒼教授,碩士生吳承穎、吳承晏、高尚祐及博士生黃毓勛。(清大提供)

〔記者洪美秀/新竹報導〕清華大學動機系教授李明蒼團隊與台大及國儀中心合作,研發出可在常溫常壓下直接在曲面鍍膜的創新技術。因整合了多道工序,未來可大幅縮短製程、降低材料成本,還能有效減少能源消耗與碳排放,為半導體先進製造邁向低碳淨零注入新動能。

李明蒼指出,「雷射低碳製造技術」透過耦合雷射與高活性的離子反應流體,可以在常壓常溫下以一道工序就完成圖樣化鍍膜,製作出精細多樣的金屬及光電材料線路。李明蒼分享當年赴美研究雷射燒結(將奈米顆粒燒成立體結構),光是準備奈米材料就要3個人不眠不休地輪班,「如今這項新技術能夠立體堆疊出微米級的金屬材質,就像3D列印,一次成形!」

而衍生出的「透明導電薄膜」則運用雷射電漿技術,把透明可導電的材質液態「霧化」,再「定」到基板上堆疊;也做到異質整合,將金屬線路鍍在玻璃上。

參與研究的動機系博士生黃毓勛說,新技術然無法取代成熟製程的量產型機台,但優勢是客製化程度高。李明蒼教授也透露,目前已有國內半導體大廠接洽。團隊未來將研發目標鎖定在打造「皮膚上的電子元件」,除可應用在精準醫療,還有可能讓科幻電影中的透明顯示裝置、溫控光學鏡片成為真實。

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