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台積電攜手供應商，改善製氫流程，截至今年6月，年省氫氣槽車運輸量逾5200台、約5萬公里路程，相當於繞行台灣超過50圈。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電表示，氫氣是半導體先進製程的重要化學品，為了打造綠色低碳供應鏈，公司近三年多來，攜手供應商於製氫廠設置二氧化碳回收純化系統，將其再製為電子級液態二氧化碳，並推動供應商採購碳中和天然氣，導入地下管線直供氫氣給台積電廠區，節省供應商槽車換車人力及運輸量，統計截至今年6月，年省氫氣槽車運輸量逾5200台、約5萬公里路程，相當於繞行台灣超過50圈，也提升氫氣供應穩定度，達成產業共好的雙贏成效。
台積電表示，打造綠色低碳供應鏈是公司實踐永續發展的關鍵之一，除推動供應商改造精餾塔管路將被分離的二氧化碳導回塔內再純化，因應先進製程的氫氣需求量增加，為擴大供應鏈原物料管理中的碳捕捉機會點，台積電鼓勵供應商將天然氣產製為氫氣過程中，將排出的二氧化碳回收，再製為電子級液態二氧化碳回用台積電。
同時，台積電協助供應商採購碳中和天然氣，並導入地下管線直供氫氣給台積電南科廠區，為全台科學園區首件氫氣地管成功案例，提升了供應商低碳轉型能力。截至今年6月，供應商回用台積電的電子級液態二氧化碳逾3.5萬公噸，供應商使用碳中和天然氣年減碳3.8萬公噸，年省氫氣槽車運輸量逾5200台、約5萬公里路程，相當於繞行台灣超過50圈，落實產業共好。
台積電表示，氫氣是半導體先進製程的重要化學品，一般以蒸汽甲烷重整（SMR）技術將天然氣脫硫後與去礦物質水蒸氣進行反應重組，再經一氧化碳高溫轉化器生成電子級氫氣，並連帶產出二氧化碳。
為促進環境永續及提升二氧化碳使用效率，台積電於2021年攜手供應商於製氫廠設置二氧化碳回收純化系統，將其再製為電子級液態二氧化碳，同時與各廠區溝通製程變更、安排入廠驗證品質，確認回用的電子級液態二氧化碳達到廠內製程使用規格，確保後續生產品質符合標準。
除再製並回用電子級液態二氧化碳，台積電也推動供應商採購碳中和天然氣，減少製氫過程的碳排放，且考量製程所需氫氣用量增加，為加速運輸效率與安全性，2019年與供應商、南部科學園區管理局合作於晶圓十八A廠建置氫氣地管，並成為台積電新建廠區標準設計，不僅節省供應商槽車換車人力及運輸量，也提升氫氣供應穩定度，達成雙贏。晶圓十八廠是台積電3、5奈米先進製程的大本營。
深化供應鏈永續性是台積電發展ESG的重要一環，除增加回用電子級液態二氧化碳外，台積電表示，將持續推廣供應商使用碳中和天然氣，並預計於今年10月、明年1月分別完成晶圓十八B廠、晶圓二十二廠氫氣地管建置，估計可年省槽車運輸量逾1.5萬台，共同朝半導體淨零供應鏈目標全力邁進。
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