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台積電總裁魏哲家26日密訪艾司摩爾荷蘭總部。（路透）
〔編譯魏國金／台北報導〕韓國媒體BusinessKorea報導，業界消息來源與外國媒體26日披露，台積電總裁魏哲家23日沒有出席在台北舉行的「台積電2024技術論壇」，祕密訪問艾司摩爾（ASML）荷蘭總部以及德國工業雷射公司TRUMPF，隨著英特爾、台積電與三星3大半導體代巨頭搶奪下一代設備的競爭升溫，2奈米以下超先進製程的競賽已經開打。
報導說，魏哲家的祕密行程是透過艾司摩爾執行長富凱（Christophe Fouquet）與TRUMPF執行長卡穆勒（Nicola Leibinger-Kammüller）在社群媒體上發布而曝光。富凱寫道：「我們向魏總裁介紹我們最新技術與產品，包括高數值孔徑（High NA）極紫曝光機（EUV）設備將如何實現未來半導體的微製程技術」。
當地媒體與台灣業界人士分析，「這顯示台積電的管理階層果斷決定訪問艾司摩爾，以確保全球半導體的主導地位」，他們補充，「隨著曝光設備在7奈米以下先進製程的重要性加劇，台積電似乎已加入這場搶奪先進設備的競賽」。
據悉，台積電考慮在1.6奈米以下（A16）製程產品採用高數值孔徑EUV設備，預計2026年下半年量產相關產品，在此之前則採用現有的低數值孔徑EUV設備。
在英特爾去年成為第一家取得艾司摩爾高數值孔徑EUV設備後，這場搶奪相關設備的競賽加劇，業界預期英特爾將在其1.4奈米（14A）製程完全使用高數值孔徑EUV。
三星電子也行動積極，近期三星電子會長李在鎔訪問艾司摩爾及其關鍵供應商蔡司，以強化「三角半導體同盟」。
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