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竹科半導體廠房受地震波及影響產能 陽明交大推防震裝置

2024/04/19 14:05

竹科半導體廠房受地震波及影響產能,陽明交大推天花板的防震裝置,當科技廠護國群山的靠山。(陽明交大提供)

〔記者洪美秀/新竹報導〕台灣花蓮0403強震造成花蓮天王星大樓傾斜等災情,新竹科學園區半導體廠房也受到波及,部分廠房雖很快恢復產能,主要是因陽明交大土木工程系暨防災與水環境研究中心,2016年起就協助半導體廠開發與安裝爐管、倉儲系統防震裝置,經多年推廣實施,在這次403花蓮大地震也發揮抗震能力,有效減少震害損失。

高雄美濃2016年2月6日發生芮氏規模6.6強震,重創南台灣高科技產業,損失逾千億台幣,當時陽明交大土木系暨防災與水環境研究中心受半導體廠委託,針對震害損失較大的垂直爐管、自動化倉儲系統、天花板/庫版及推車/貨架等地震易損設備開發防震技術,並經由土木系大型結構實驗室的足尺地震模擬試驗,確認其可行性,獲科技廠與保險公司認可,逐步在廠內推廣實施。

土木系王彥博教授指出,科技廠許多振動敏感性製程設備在地震中極易受損,其中自動化倉儲系統防護性較為不足,當地震強度達一定門檻時,架上滿載的晶圓盒就會震落,造成巨大損失。安裝消能減震控制的自動化倉儲系統能大幅降低振動反應,有效防制晶圓盒被震落,其減震成效在403大地震獲得充分驗證。

陽明交大教授王彥博在國際會議談台灣科技廠的抗震新技術。(陽明交大提供)

此外,無塵室天花板屬懸吊式系統,地震時作單擺運動但未與廠房結構之變形同步,會於周邊產生碰撞擠壓,造成天車軌道與設備的移位變形,甚至會崩落導致無塵室遭受污染,不僅延宕復工時程,更添營運中斷損失。針對無塵室天花板的防震需求,陽明交大團隊協助科技廠安裝消能減震裝置,並在竹科完成1座12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程,在本次地震中展現極佳防震性能。

王彥博表示,在資源、時間有限的情況下,可針對大宗的震害損失來源加以控管,並配合策略性的產業保險規劃涵蓋其不足,就能大幅降低科技廠的震害風險,強化抗震韌性。陽明交大因地制宜視不同需求規劃防震工法,是護國群山的穩固靠山。

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