晴時多雲

晶圓廠石英爐管震破 1套相當1部賓士車價格

2024/04/07 22:04

花蓮強震,北中南半導體各晶圓廠受到影響(示意圖,彭博)

〔記者洪友芳/新竹報導〕花蓮強震,衝擊北中南半導體各晶圓廠石英爐管紛傳出被震破,更換石英爐管與石英相關產品需求大增。供應鏈傳出,台積電、聯電、美光等晶圓廠,向供應商拉貨石英爐管,甚至有的自派車輛前往石英廠載貨,顯見晶圓廠急迫與唯恐缺貨。而高階石英爐管單價達400萬元,相當於一部賓士進口車價格,業界估計,石英爐管震破,裡面裝載上百片晶圓也常會跟著破損,石英爐管震損將使營運成本增加。

4月3日花蓮發生芮氏規模達7.2地震,為過去25年來最強的地震,新竹、龍潭和竹南等科學園區最大震度達五級,台中和台南科學園區的最大震度為四級。半導體業指出,此次對北中南半導體生產製造多少都造成影響,越往北越嚴重,竹科、桃園晶圓廠與封測廠紛受到影響,8吋、12吋晶圓廠與部分封測廠震損相對嚴重。

供應鏈傳出,半導體業晶圓廠,從地震發生後,因無塵室擴散製程的石英爐管被震破,紛向供應商拉貨石英爐管,石英晶舟、石英環等元件也損壞,需要清理與更換,平常久久才更換卻突然需求激增,甚至有的自派車輛前往石英廠去載貨,顯見晶圓廠需求孔急與唯恐缺貨。

供應鏈指出,石英元件相當貴,「一套高階石英爐管單價達400萬元,相當於一部賓士進口車價格」,業界估計,晶圓廠震損也將多少增加營運成本。

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