晴時多雲

花蓮強震》台積電外購三座竹科廠 這次震損較明顯

2024/04/06 11:27

台積電昨指出,全年業績展望不變,台灣晶圓廠內的設備已大致復原。(資料照)

〔記者洪友芳/新竹報導〕花蓮強震衝擊半導體晶圓廠也震損,但晶圓代工龍頭廠台積電昨指出,全年業績展望不變,台灣晶圓廠內的設備已大致復原,位於震幅較大地區的部分生產線,需要較長的時間調整校正,以回復自動化生產;供應鏈認為,台積電龍潭廠封測廠、竹科八吋與十二吋廠應是跟同業一樣,震損較明顯,要花較多時間整頓,才能回線正常生產。

供應鏈業者指出,台積電這次地震影響較大的廠,都是來自買別人的舊廠,防震係數不同於新廠,例如竹科龍潭廠購買自高通,龍潭廠這次震損最大問題出自無塵室的大小冰管被震損,這等於無塵室空調失控,經過緊急調派相關人力日夜搶修後,已大致告一段落。

此外,台積電位於竹科的七廠、八廠,也是併購同業的舊廠,為八吋廠也是地震較有影響廠區,十二吋超級晶圓廠則是自建。

以竹科同業的八吋、十二吋廠受損到近停擺程度來看,供應鏈表示,台積電也緊急調派土木結構、水電空調、設備與材料等協力廠商前往勘查與援助,同樣也有天花板或牆壁局部破損、消防撒水頭脫落、生產線的石英爐管破裂,晶圓損壞、設備機台因晃動致參數偏移、有的缺零件而動彈不得等震損情況。

半導體晶圓生產製造包括氧化層成長、黃光微影、蝕刻、清洗、雜質擴散、離子植入到薄膜沉積等,所需要製程多達2、3百個步驟,區域繁雜;竹科半導體業認為,「大家心照不宣」,地震過後的晶圓廠清理與設備復原都需要時間,台積電設備已大致復原,就代表跟同業一樣,有些還沒完全復原,回線正常生產也還需要一點時間,畢竟是高精密製程更需謹慎,不能有差錯,三到五天、或一星期以上,就看各家能耐。

業界認為,依照過往經驗,地震影響是一時的,等各晶圓廠陸續恢復正常生產,將會加緊趕工,補產給客戶,至於,對第二季營運就看震損程度、保險理賠等,多多少少會造成影響。

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