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SK海力士今年將採購8台EUV（路透）
〔編譯魏國金／台北報導〕韓國媒體ET News 26日報導，韓國業界人士透露，SK海力士計畫斥資2兆韓元（477億台幣），購買8台艾司摩爾（ASML）極紫外光曝光機（EUV），作為推出新一代記憶體的一部分投資。
報導說，SK海力士2021年首度裝置EUV，目前有5台EUV設備，今年若完成8台的裝置，將具有13台先進的EUV曝光設備。SK海力士今年計畫投入5.3兆韓元於半導體設備，EUV佔近40%。
報導指出，新採購的EUV設備將用於先進製程的過渡，SK海力士正推動向第5代動態隨機存取記憶體（DRAM）的轉換。從第4代DRAM（1a）起，EUV便是不可或缺的設備。去年5月，SK海力士完成DRAM最先進10奈米第5代（1b）製程的開發，該公司計畫進一步擴大該製程的應用。
與此同時，SK海力士中國無錫廠的DRAM產量佔整體40%，目前進行第4代DRAM產線的調整，由於美中衝突，無法將EUV輸入中國，因此SK海力士決定今年開始將該廠生產的晶圓從中國空運回韓國，進行必要的EUV調整。
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