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半導體製程中的光阻劑、特用性化學品等，可能含有微量全氟及多氟烷基物質。圖為示意圖。（資料照，記者鄭鴻達攝）
〔記者陳嘉怡／台北報導〕環境部化學署預告列管PFAS家族中的147種「全氟己烷磺酸（PFHxS）及其鹽類與相關化合物」為毒性化學物質，今（30）天舉辦研商會蒐集各界意見。半導體業者關心，若以「全濃度」作管制濃度，恐導致部分化學品無法運作，衝擊半導體製造業。化學署則回應，會參採歐盟等國際做法訂定閾值或排除條件，避免造成業者執行困難。
化學署表示，全氟己烷磺酸及其鹽類與相關化合物具不易分解性及生物濃縮性，屬持久性有機污染物，進入環境後不易降解，人體攝入後亦可能造成神經、甲狀腺及免疫系統失調 等影響，恐危害生態及人體健康。 聯合國斯德哥爾摩公約決議，列管147種全氟己烷磺酸及其鹽類與相關化合物。
化學署表示，為接軌斯德哥爾摩公約，我國也預計新增全氟及其鹽類與相關化合物為第一類毒性化學物質， 管制濃度為全濃度，分級運作量為50公斤，並訂定全氟己烷磺酸及其鹽類與相關化合物的禁止運作事項及得使用用途，僅限研究、試驗、教育用途。另也同步調整國內目前已列管的PFAS，包含全氟辛酸 （PFOA）、全氟辛烷磺酸（PFOS）、全氟辛烷磺酸鋰鹽、 全氟辛烷磺醯氟，管制濃度0.01％為全濃度（意即不得超過0.01％）。
中華民國化學工業責任照顧協會等單位認為，此次預告以「全濃度」管制PFOA、PFOS、PFHxS雖利益良好，但在業界恐難以落實，建議參考歐盟立法訂定豁免閾值，並考量環境背景值，以及非刻意添加、受污染的原物料及產品，給予國內業者相同的豁免或排除條款。
台灣半導體產業協會也指出，若以全濃度作為147種PFHxS等相關化合物的管制濃度，可能造成未來含有微量全氟及多氟烷基物質的化學品無法運作，如各式光阻劑、特用性化學品等，恐對半導體製造業造成嚴重衝擊。而且倘若上游原物料或產品生產過程受殘留物影響，也可能導致產品存有極微量的全氟烷基物質。
化學署長謝燕儒表示，斯德哥摩公約是規範全濃度，不過各國也發現很難以全濃度管理，目前歐盟等國已擬定相關豁免條件與非蓄意微量污染物濃度，台灣會參採國際做法訂定閾值或排除條款，以及查核方式，避免造成業者執行困難。
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