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蔚華科技攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，搶攻化合物半導體商機。（蔚華科提供）
〔記者洪友芳／新竹報導〕半導體測試設備廠蔚華科技（3055）攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，搶攻化合物半導體商機。
南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。
王嘉業說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷（BPD,TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。
他指出，以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用JadeSiC-NK後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片6吋基板800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下台幣250萬元，若是具有100個長晶爐的基板廠，一年即可省下台幣2.5億元。
此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協助客戶在高技術門檻的化合物半導體市場加速製程及產量優化。
蔚華科技總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測，相當於公司踏出自有產品新局。
陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中今也表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線性光學技術應用在化合物半導體的檢測分析，有助突破目前業界在量產及製程改善的技術瓶頸，對於產業鏈發展提供極大推力，期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業界SiC基板檢測標準，成為產業界非線性光學技術的領航品牌，引領市場應用持續創新及突破。
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