ASML對中「補單」 2025年前安裝600台DUV設備

2023/11/04 14:17

ASML預計在2025年底前在中國安裝600台深紫外光曝光機（DUV）設備。（路透）

〔財經頻道／綜合報導〕荷蘭晶片設備製造商ASML在面對美國對中國半導體制裁日漸增加的壓力下，預計在2025年底前在中國安裝600台深紫外光曝光機（DUV）設備。

根據DigiTimes報告，隨著美國政府及其盟國收緊對中國實體的晶圓廠設備出口法規，ASML仍然保持樂觀態度，並預計未來幾年在中國安裝的DUV設備數量將增加。同時，該公司也承認，向中國客戶提供的大多數DUV曝光機都是針對「成熟和中關鍵」製程而設計。

ASML中國區總裁沈波在接受媒體採訪時表示，ASML在中國安裝的DUV曝光機和計量機總數約為1400台。到2025年底，全球DUV設備安裝量預計將達到600台。沈波日前也表示，「今年給了我們一個喘息的機會，把過去一兩年欠客戶、欠中國市場的訂單趕緊補一補」。

ASML並未詳細列出中國實體使用的計量、曝光機和偵測系統的數量，但推測目前曝光工具數量低於600台。

ASML於2023年第3季加大對中國的出貨量，該季度淨銷售額53.08億歐元中，中國公司就佔46%，高於第2季的24%。中國客戶總共購買價值26億美元的晶圓廠設備，包括DUV相關工具和計量系統。現在大多設備是針對成熟且落後的製程技術，如28nm、45nm、65nm、90nm以及更厚的製程技術。

ASML的負責主管最近告訴中國媒體，該公司希望今年能加快成熟曝光機的交付，以滿足中國的強勁需求。雖然ASML不被允許向中國出售最先進的設備，但它被允許向中國客戶出售大部分產品，以生產所謂的傳統晶片，這些晶片廣泛應用於從汽車到家用電器的各個領域。

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