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英特爾出售10%的IMS給台積電，預計第4季完成交易。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕英特爾宣佈，已同意將IMS Nanofabrication事業（IMS）約10%的股份出售給台積電。這筆交易對IMS Nanofabrication的估值約為43 億美元，與最近出售給貝恩資本（Bain Capital）的股權估值一致。此次股權交易預計將於2023年第4季完成。
英特爾表示，仍將保留IMS的多數股權，IMS會在執行長Elmar Platzgummer的領導下，繼續以獨立子公司型態營運。
英特爾指出，IMS是開發先進極紫外光（EUV）所需的多重電子束光罩寫入工具領導廠商，此工具廣泛應用於支持最嚴苛運算應用的前沿技術節點，例如人工智慧（AI）和行動應用。
英特爾表示，貝恩資本和台積電的投資，增加IMS的獨立性，深化IMS面對未來重要發展機會的信心。投資挹注有助於增強IMS的自主性，加速企業發展，推動下一階段的微影技術創新、例如高數值孔徑（high-NA）極紫外光，引領產業朝向新型圖案化（patterning）系統轉型。
英特爾企業發展資深副總裁Matt Poirier 表示，這項投資展現IMS正在開拓深入的產業合作，以推進關鍵節點的關鍵微影技術，惠及整個半導體製造生態系。隨著獨立性的增強，IMS將蓄勢待發應對未來10多年多重電子束光罩寫入工具的重大發展機會。
IMS執行長Platzgummer表示，很高興能引入新的投資者，幫助鞏固IMS在多重電子束光罩寫入領域的領導地位，這項技術也是前沿半導體科技創新的骨幹。充分證明在這個不可或缺的技術領域中，IMS具備的專業知識和領導地位。期待攜手合作夥伴，繼續支持下一代技術的創新，為整個半導體生態系帶來價值。
台積電業務開發資深副總經理張曉強表示，台積電自2012年以來持續與IMS合作開發用於先進技術節點的多重電子束光罩寫入工具。這項投資延續台積電與IMS之間的長期合作夥伴關係，以加速創新並深化跨產業的合作機會。
英特爾最初在2009年投資IMS，並在2015年收購剩餘股權。自收購以來，IMS為英特爾帶來了可觀的投資報酬，同時IMS的員工人數和產能增長了4倍，並交付了3代產品。2023年6月，英特爾宣佈同意將IMS約20%股份出售給貝恩資本。
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