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省水省電!台積電估2030年12吋廠 全面導入熱水循環系統2.0版

2023/04/29 14:28

台積電估2030年12吋廠全面導入熱水循環系統2.0版。(台積電提供)

〔記者洪友芳/新竹報導〕台積電攜手供應商首創晶圓清洗機台熱水循環系統有效省水80%,為創造更多節能機會點,去年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」,今年4月已導入晶圓十二B廠,節省純水2萬4千公噸、省電38萬8千度,預估2030年既有12吋晶圓廠區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4億5千萬度,持續實踐綠色創新。

因應半導體技術快速演進,台積電積極以創新思維強化機台節能成效,2019年攜手供應商開發晶圓清洗機台熱水循環系統1.0版,於原供水管線加裝儲熱水槽回收機台端未使用過的熱水,透過智慧調節原供水管線水溫,與回收熱水混合後加熱使用,將加熱溫差降至最低以達節能效果。

由於既有廠區機台所在區域空間有限,台積電針對熱水循環系統中的水槽、泵浦、過濾材等設備進行改造,重新設計成不同的模組單元,經預先組裝後再以堆疊形式組合成熱水循環系統2.0版,成功縮小單一系統占地面積、增加改機數量,精進綠色效益。

台積電估計,利用模組化設計克服無塵室場域限制,在不影響節能效果的前提下,系統設備占地面積減少60%、改造作業效率提升90.5%,大幅優化改機與安裝便利性。

除改造既有廠區晶圓清洗機台設備,台積電也同步評估將熱水循環系統2.0版納入先進製程機台採購標準規格,於新機台引進前即完成對應的設計驗證及元件安裝,使其初運轉時即達到節水省電效益,朝機台能資源使用效率最大化的永續目標邁進。

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