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三星電子為縮小與台積電的市占率，開始研發透光率92%的EUV光罩護膜。（路透）
〔編譯魏國金／台北報導〕韓國媒體BusinessKorea報導，三星電子開始研發極紫外光機（EUV）光罩護膜，以縮小與台積電的市占率差距。韓國1名分析師說，「三星電子推動研發EUV光罩護膜，就是為了快速追上代工龍頭台積電」。
報導說，三星的半導體研究所近期發布徵才廣告，以研發可滿足EUV 92%透光率的光罩護膜。2021年10月三星在「三星晶圓論壇」上說，「我們已研發EUV 82%穿光率的光罩護膜，並計畫今年底提高透光率至88%」。三星已發展出88%透光率的薄膜，這意味三星以1年的時間達成目標，三星此時提出透光率增加4個百分點的新研發路線圖。
三星也開始研發用於高數值孔徑（NA）的光罩護膜，高數值孔徑被稱為新一代EUV製程。在該徵才廣告中，三星提到將基於新材料，開發下一代光罩護膜。三星宣佈將與外部研究機構合作開發從奈米碳管與石墨烯製成的EUV光罩護膜。三星也計畫挑選研究員，負責為該公司自行研發的納米厚石墨薄膜（NGF）設計量產設備。
報導說，1位分析師表示，「三星電子推動研發EUV光罩護膜，就是為了快速追上代工龍頭台積電」。自2019年以來，台積電在量產的產線上已使用自行研發的EUV光罩護膜。台積電2021年宣佈，將較2019年增加自有EUV薄膜產能20倍。
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