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世界先進0.35微米650 V氮化鎵製程 邁入量產

2022/11/22 14:55

世界先進今(22)日宣布,8吋0.35微米650 V的新基底高電壓氮化鎵製程(GaN-on-QST)針對快充產品,已於客戶端完成首批產品系統及可靠性驗證,正式進入量產。(資料照)

〔記者洪友芳/新竹報導〕晶圓代工廠世界先進(5347)今(22)日宣布,該公司的8吋0.35微米650 V的新基底高電壓氮化鎵製程(GaN-on-QST)針對快充產品,已於客戶端完成首批產品系統及可靠性驗證,正式進入量產,為特殊積體電路製造服務領域首家量產此技術的公司。

世界先進表示,公司於2018年以Qromis基板技術(QST TM )進行8吋QST基板的0.35微米650 V GaN-on-QST製程開發,經過4年左右,今年第1季開發完成,並於第4季成功量產,世界先進公司同時已和海內外整合元件製造(IDM)廠及IC設計公司展開合作。

世界先進指出,QST基板相較於以矽(Si)作為基板,具有與氮化鎵磊晶層更匹配的熱膨脹係數(CTE),在製程中堆疊氮化鎵的同時,也能降低翹曲(warpage)破片,更有利於實現量產。

世界先進公司的0.35微米650 V GaN-on-QST製程,能與公司既有的8吋矽晶圓機台設備在開發與生產上相互配合使用,以達最佳生產效率及良率。根據客戶端的系統驗證結果,世界先進提供的氮化鎵晶圓於快充市場的應用上,針對65W以上的快充產品,其系統效率已達世界領先的水準。

此外,基於QST基板的良好散熱特性,在整體快充方案效能上,世界先進表示,該公司提供的氮化鎵晶圓具有更優良的散熱表現。

世界先進公司營運長尉濟時表示,世界先進的0.35微米650 V GaN-on-QST製程具備效能及可靠性優勢,不僅提供客戶更優化的積體電路設計選擇,也協助提升客戶產品的競爭力。世界先進的0.35微米650 V GaN-on-QST製程除了650 V的元件選擇之外,也提供內建靜電保護元件(ESD),客戶得以更便利的進行設計選擇。針對更高電壓(超過1000 V)的擴充性,世界先進公司也已經與部分客戶展開合作,以滿足客戶的產品需求。

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