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台積電攜手設備商打造智慧節能系統 節能8500萬創新高

2021/05/31 16:59

台積電攜手設備供應商領先業界打造「iSystem™物聯網智慧節能系統」,年創新台幣8,500萬元節能效益。(台積電提供)

〔記者洪友芳/新竹報導〕晶圓代工廠台積電(2330)致力實踐綠色製造,持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率,繼引領業界開發世界級半導體綠色機台,更在不影響生產機台效能的前提下,攜手應用材料公司與附屬設備供應商針對非生產區(Sub-fab)的附屬設備打造「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」,成功創造新台幣8500萬元的節能效益。

為更擴大節能效益與使用範圍,台積電也尋求與其他半導體設備供應商合作,所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制,目前除了晶圓15B廠持續進行應用開發與建置外,晶圓18廠也於今年開始導入,並將逐步推展至台灣廠區所有12吋晶圓廠,預計未來每年可省電8200萬度、減少8.46萬公噸碳排放量,創造新台幣5.2億元的節能效益,持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。

台積電表示,「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」已導入晶圓15B廠80種製程、588台生產機台所屬的2351台真空幫浦、805台現址式尾氣處理系統,達成年度省電1340萬度、減少1.38萬公噸碳排放量,成功創造新台幣8500萬元的節能效益。

2016年起,台積電攜手供應商開發及導入「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」,將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑,根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID,獲得製程氣體實際使用狀態,再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數,即時對附屬設備下達對應的指令,使其可依生產機台使用的製程氣體,同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。

除了節能模式,台積電與供應商依照半導體協會標準,進一步開發附屬設備的睡眠模式(Sleep Mode)與休息模式(Rest Mode),當生產機台於較長時間未運轉時,可節省更多能耗。此外,台積公司並持續依據去除效率驗證結果,優化附屬設備運轉控制層級及其參數,以提升能源使用效率,並降低氮氧化物(NOx)產生,達到節能與環保的雙重效益。

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