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台積電攜手設備供應商領先業界打造「iSystem™物聯網智慧節能系統」，年創新台幣8,500萬元節能效益。（台積電提供）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工廠台積電（2330）致力實踐綠色製造，持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率，繼引領業界開發世界級半導體綠色機台，更在不影響生產機台效能的前提下，攜手應用材料公司與附屬設備供應商針對非生產區（Sub-fab）的附屬設備打造「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」，成功創造新台幣8500萬元的節能效益。
為更擴大節能效益與使用範圍，台積電也尋求與其他半導體設備供應商合作，所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制，目前除了晶圓15B廠持續進行應用開發與建置外，晶圓18廠也於今年開始導入，並將逐步推展至台灣廠區所有12吋晶圓廠，預計未來每年可省電8200萬度、減少8.46萬公噸碳排放量，創造新台幣5.2億元的節能效益，持續朝碳中和與淨零碳排放的永續目標邁進。
台積電表示，「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」已導入晶圓15B廠80種製程、588台生產機台所屬的2351台真空幫浦、805台現址式尾氣處理系統，達成年度省電1340萬度、減少1.38萬公噸碳排放量，成功創造新台幣8500萬元的節能效益。
2016年起，台積電攜手供應商開發及導入「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」，將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑，根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID，獲得製程氣體實際使用狀態，再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數，即時對附屬設備下達對應的指令，使其可依生產機台使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。
除了節能模式，台積電與供應商依照半導體協會標準，進一步開發附屬設備的睡眠模式（Sleep Mode）與休息模式（Rest Mode），當生產機台於較長時間未運轉時，可節省更多能耗。此外，台積公司並持續依據去除效率驗證結果，優化附屬設備運轉控制層級及其參數，以提升能源使用效率，並降低氮氧化物（NOx）產生，達到節能與環保的雙重效益。
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