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台積電拚綠色製造，新製程廢氣削減率突破99.5%（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）拚業績也拚綠色製造，公司以「零排放」為目標，首創業界開發沸石濃縮雙轉輪系統，廢氣削減率突破99.5%，沸石濃縮雙轉輪系統是未來新建廠區的標準設備，繼去年已完成建置在晶圓十五B廠、晶圓十八A廠之後，今年第一季將完成晶圓十八B廠的建置。
台積電表示，公司致力發展空氣汙染防制技術，除了符合國內「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」及「固定汙染源空氣汙染物排放標準」，連續維持0件異常事件通報主管機關紀錄，透過自主開發最佳可行技術及防制監測設備2大方針，主動降低環境衝擊。去年為止，揮發性有機氣體的平均削減率連續第6年超過95%。
根據世界衛生組織的資料，空氣汙染為全球最大的單一環境健康風險。針對揮發性有機氣體削減，台積電各廠使用沸石濃縮轉輪結合燃燒爐處理揮發性有機氣體，其去除效率可達95%至97%，優於法令排放削減率應大於90％的規範。
為進一步導入新技術優化防制設備效能，台積電廠務處攜手供應商，領先國內採用「沸石濃縮雙轉輪系統」技術，將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣，新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理，成功使削減率達99.5%。沸石濃縮雙轉輪系統將為未來新建廠區的標準設備，去年已完成建置於晶圓十五B廠、晶圓十八A廠，預計今年第1季完成晶圓十八Ｂ廠建置。
因應美國國家職業安全衛生組織（NIOSH）針對工作環境中陶瓷纖維的暴露規範，台積電改採玻璃纖維基材於沸石濃縮雙轉輪系統，有效降低約10%轉輪壓損，排氣風車耗電量由62kW降低至51kW，節省17.7%耗電量；在穩定吸附性能的同時，由於玻璃纖維基材具有較低的熱容量，更可提升濃縮倍數自15倍至20倍以上。
此外，由於玻璃纖維材質基材吸附效率提升，使轉輪脫附揮發性有機物濃度增加1%、燃燒爐熱值增加，可減少揮發性有機物處理設備運轉能源消耗；以晶圓十五廠第7期的沸石雙轉輪系統為例，每年預計將節能48萬度電，並減省8660立方公尺瓦斯用量，相當於19個家庭1年用量，每年減碳266公噸，相當於0.7座大安森林公園吸碳量。
台積電除針對新建廠區持續導入新技術防制設備，自2018年起，每年針對既有廠區進行「低效沸石轉輪汰新計畫」，除了導入「潔淨氣體脫附沸石濃縮轉輪」專利技術，台積電廠務處也進一步攜手企業環保安全衛生處，針對既有廠區運轉數據進行大數據分析，並於去年領先業界導入人工智慧智能參數，由入口濃度、溫度與風量等外部參數導入計算，自動調整燃燒溫度及脫附溫度設定值，並藉由出口濃度、轉輪出口溫度等參數進行誤差計算及修正，得到最佳操作參數及削減率，去年平均削減率有效提升至98%，朝向智慧綠色生產環境目標穩健邁進。
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