晴時多雲

襄助台灣護國神「積」 ASML海外首座EUV實機培訓中心開幕

2020/08/20 17:37

艾司摩爾(ASML)今日在台南開設了服務台積電工程師的晶片工具技術培練中心,為海外首座配備極紫外光(EUV)微影實機模組的訓練中心。(路透)

〔編譯楊芙宜/台北報導〕日經新聞報導,歐洲最大晶片設備製造商艾司摩爾(ASML)今日在台南開設了服務台積電工程師的晶片工具技術培訓中心,反映在美中科技戰升溫之際,台灣保護國家最珍貴半導體產業的決心。據TrendForce統計,台積電上季以市占51.5%,穩居全球晶圓代工龍頭。

報導指出,ASML在台南開設培訓中心,以便能更就近指導台積電工程師使用ASML的半導體最尖端、最昂貴晶片製造工具極紫外光(EUV)微影機。台積電是ASML最大客戶,也是世界最有價值的晶圓大廠。

總部在荷蘭的ASML表示,這是該公司首座在海外配備有「實際示範」模組的EUV機器。ASML是世界上唯一供應EUV機器的企業,台積電是最大買家;儘管ASML在南韓也有為其重要客戶三星電子工程師設的培訓中心,但韓國卻沒有EUV實機模組。

報導指出,一套EUV微影設備價格約高達1.2億美元(36億台幣),但大客戶如台積電、三星可能獲得購買折扣。ASML表示,今(2020)年將出貨35套EUV系統;其中,據知情人士透露,超過20套EUV是賣給台積電。

ASML指出,該公司2010年提供第1台EUV微影設備原型給台積電進行研發工作,開創全球微影技術新紀元;2017年再交付第1台量產型EUV微影系統給台積電,寫下商用EUV製程技術的新里程。

ASML訓練中心在台開幕時機,正值台灣欲吸引外國晶片設備和材料供應商來投資之際。台灣半導體產業為世界第二大,僅次於美國,面臨中國扶植本身晶片產業、力圖在2025年晉身為世界晶片領先國家的野心,台灣政府正極力保護此一重要產業地位。

報導指出,台灣政府一位資深經濟官員表示,台灣政府目標是在說服最先進外國晶片製造設備商,如應用材料(Applied Materials)、科林研發(Lam Research)、ASML,能增加在台灣先進生產工具的製造產能。許多重要日本晶片製造材料商,如日立化成(Hitachi Chemical)、三菱化學(Mitsubishi Chemical),都已在台灣增加投資。

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