晴時多雲

全台積人 只有Burn爺爺敢跟張忠謀傳福音

2019/11/28 14:46

林本堅信主超過60年,退休4年以來,持續在教會講道與分享過去工作見證。
(記者洪友芳攝)

林本堅目前也擔任清華大學研究講座教授。(清大提供)

〔記者洪友芳/新竹報導〕台積電前研發副總經理林本堅以發明浸潤式(Immersion)微影技術改寫全球半導體業發展,也奠定台積電在晶圓代工業至今持續居領先地位,可說是台積電大功臣,也是全台積電唯一敢跟創辦人張忠謀傳福音的人。

半導體業很多中高階主管退休後,過著周遊列國的享受人生生活。林本堅信主超過60年,退休4年以來,除了持續在教會講道之外,他也擔任清華大學研究講座教授,且仍維持長年的興趣,包括網球、拉小提琴等。每周末假日,他也常受邀到各教會分享見證生命的道,有時,一天兩場不同地點,體貼的太太還會幫他開車,讓他有時間休息、預備下一場的資料。

林本堅常從工作與生活經歷傳講生命的道,他說,工作要用心做,也必須是自己有興趣做的,這樣即使是自願加班,也會樂此不疲,但要保養顧惜身體。他分享過去在IBM工作時,因事情多,用電子顯微鏡要排隊登記,他選擇晚上去使用,沒人跟他搶用,他在靜夜裡研究得很開心,一會突然陸續有些聲音出現,原來是天亮了,開始有同事上班,這是他唯一一次加班熬夜。

林本堅在台積電的15年半時間,在他帶領下,微影團隊從50人左右,到他退休已擴充到700人。林本堅領導團隊,力行互尊、互信與互助,讓團隊達到1+1遠大2的成果,贏得屬下相當肯定與尊敬。

他的老長官蔣尚義曾回憶,林本堅不但技術好,也是一個很好的專業經理人、很好的老師,他有時到他的部門走走,發現底下的人叫他Burn(林本堅英文名)爺爺,他自己則被叫「蔣爸」,還有一位曾祖父(曾繁城),Burn爺爺是底下的人對他很尊敬又很親切的稱謂,還有同事說跟他說「我們微影部門是雅典,隔壁梁孟松(目前任中芯執行長)的模組部門是斯巴達」,這代表兩邊做事風格與氣氛很不同。

蔣尚義跟張忠謀都是林本堅傳福音的對象,蔣尚義在林本堅寫的「把心放上去」一書提及,他在2008第一次從台積電退休,林本堅也打算2010年春天要退休,沒想到2009年,張忠謀回任總執行長,又把他叫回來,他回台積電的第一件事就是趕快去請林本堅不要走,他說,退休是計劃要去傳道,這是他的心願,但如果蔣、張兩個上司都願意接受他的傳教,他願意留下來。

蔣尚義說他自己答應了,林本堅後來也把每個月的講道稿傳給他看,他也很認真讀過,接受他傳教;蔣尚義並真的向董事長報告林要留下的「交換條件」,張笑笑,未置可否,後來林本堅有送董事長一本相關的書。此外,林本堅在台積電為他舉辦的退休歡送會上,也當著張忠謀與所有高階主管的面,分享以他這個美國工程院和中央研究院的院士,怎麼會信主,當面真實的傳福音。

林本堅是微影技術專家,曾任職美國IBM的研究中心長達22年時間,帶領團隊創造出許多領先全球的技術;退休後,他在美國自行創業將近10年,2000年在台積電前研發副總經理蔣尚義的邀請下,加入台積電。

2000年對台積電是很重要的一年,前一年,台積電剛併購世大、德碁,且拒絕IBM的邀請加入研發聯盟,選擇走技術自主不依靠外人的路,聯電則選擇加入IBM研發聯盟,台積電為了追求技術自主,積極延攬國外找一些好手加入研發團隊,包括林本堅在內,台積電也從0.13微米大大甩開聯電的競爭。

微影是半導體重要的關鍵技術,2002年半導體產業面臨技術瓶頸,乾式曝光機很難突破,負責台積電微影技術研發的林本堅,改以水為介質,研發出浸潤式微影取代乾式微影,這讓台積電成功引領半導體業技術走向;在極紫外光(EUV)微影技術之前,林本堅也帶領團隊發展出雙重曝光技術,讓台積電的製程得以推進多代製程。

半導體業從45奈米製程開始採用浸潤式技術量產,設備大廠生產也跟著轉向,全球業界跟進。從40、32、28、20、16、14、10到7奈米,還有台積電明年將量產的5奈米製程都是浸潤式技術,浸潤式技術已躍為全球半導體業量產技術主流,更使台積電技術領先三星,居全球半導體領導地位。

林本堅獲獎無數,除了是美國國家工程學院院士,因浸潤式微影技術的創新,陸續獲得國際電機電子工程師學會(IEEE)西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院士、俄亥俄州立大學傑出校友、國際光學和光電學會(SPIE)的首屆Frits Zernike奬、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士、SPIE 會士,並且獲選為中研院院士,為國內首位企業界院士。

 

 

 

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