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林本堅信主超過60年，退休4年以來，持續在教會講道與分享過去工作見證。
（記者洪友芳攝）
林本堅目前也擔任清華大學研究講座教授。（清大提供）
〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電前研發副總經理林本堅以發明浸潤式（Immersion）微影技術改寫全球半導體業發展，也奠定台積電在晶圓代工業至今持續居領先地位，可說是台積電大功臣，也是全台積電唯一敢跟創辦人張忠謀傳福音的人。
半導體業很多中高階主管退休後，過著周遊列國的享受人生生活。林本堅信主超過60年，退休4年以來，除了持續在教會講道之外，他也擔任清華大學研究講座教授，且仍維持長年的興趣，包括網球、拉小提琴等。每周末假日，他也常受邀到各教會分享見證生命的道，有時，一天兩場不同地點，體貼的太太還會幫他開車，讓他有時間休息、預備下一場的資料。
林本堅常從工作與生活經歷傳講生命的道，他說，工作要用心做，也必須是自己有興趣做的，這樣即使是自願加班，也會樂此不疲，但要保養顧惜身體。他分享過去在IBM工作時，因事情多，用電子顯微鏡要排隊登記，他選擇晚上去使用，沒人跟他搶用，他在靜夜裡研究得很開心，一會突然陸續有些聲音出現，原來是天亮了，開始有同事上班，這是他唯一一次加班熬夜。
林本堅在台積電的15年半時間，在他帶領下，微影團隊從50人左右，到他退休已擴充到700人。林本堅領導團隊，力行互尊、互信與互助，讓團隊達到1+1遠大2的成果，贏得屬下相當肯定與尊敬。
他的老長官蔣尚義曾回憶，林本堅不但技術好，也是一個很好的專業經理人、很好的老師，他有時到他的部門走走，發現底下的人叫他Burn（林本堅英文名）爺爺，他自己則被叫「蔣爸」，還有一位曾祖父（曾繁城），Burn爺爺是底下的人對他很尊敬又很親切的稱謂，還有同事說跟他說「我們微影部門是雅典，隔壁梁孟松（目前任中芯執行長）的模組部門是斯巴達」，這代表兩邊做事風格與氣氛很不同。
蔣尚義跟張忠謀都是林本堅傳福音的對象，蔣尚義在林本堅寫的「把心放上去」一書提及，他在2008第一次從台積電退休，林本堅也打算2010年春天要退休，沒想到2009年，張忠謀回任總執行長，又把他叫回來，他回台積電的第一件事就是趕快去請林本堅不要走，他說，退休是計劃要去傳道，這是他的心願，但如果蔣、張兩個上司都願意接受他的傳教，他願意留下來。
蔣尚義說他自己答應了，林本堅後來也把每個月的講道稿傳給他看，他也很認真讀過，接受他傳教；蔣尚義並真的向董事長報告林要留下的「交換條件」，張笑笑，未置可否，後來林本堅有送董事長一本相關的書。此外，林本堅在台積電為他舉辦的退休歡送會上，也當著張忠謀與所有高階主管的面，分享以他這個美國工程院和中央研究院的院士，怎麼會信主，當面真實的傳福音。
林本堅是微影技術專家，曾任職美國IBM的研究中心長達22年時間，帶領團隊創造出許多領先全球的技術；退休後，他在美國自行創業將近10年，2000年在台積電前研發副總經理蔣尚義的邀請下，加入台積電。
2000年對台積電是很重要的一年，前一年，台積電剛併購世大、德碁，且拒絕IBM的邀請加入研發聯盟，選擇走技術自主不依靠外人的路，聯電則選擇加入IBM研發聯盟，台積電為了追求技術自主，積極延攬國外找一些好手加入研發團隊，包括林本堅在內，台積電也從0.13微米大大甩開聯電的競爭。
微影是半導體重要的關鍵技術，2002年半導體產業面臨技術瓶頸，乾式曝光機很難突破，負責台積電微影技術研發的林本堅，改以水為介質，研發出浸潤式微影取代乾式微影，這讓台積電成功引領半導體業技術走向；在極紫外光（EUV）微影技術之前，林本堅也帶領團隊發展出雙重曝光技術，讓台積電的製程得以推進多代製程。
半導體業從45奈米製程開始採用浸潤式技術量產，設備大廠生產也跟著轉向，全球業界跟進。從40、32、28、20、16、14、10到7奈米，還有台積電明年將量產的5奈米製程都是浸潤式技術，浸潤式技術已躍為全球半導體業量產技術主流，更使台積電技術領先三星，居全球半導體領導地位。
林本堅獲獎無數，除了是美國國家工程學院院士，因浸潤式微影技術的創新，陸續獲得國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院士、俄亥俄州立大學傑出校友、國際光學和光電學會（SPIE）的首屆Frits Zernike奬、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士、SPIE 會士，並且獲選為中研院院士，為國內首位企業界院士。
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