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〈新聞辭典〉光阻液

2015/05/25 06:00

光阻液。(記者洪友芳)

光阻液或光阻(Photo Resist, PR)是半導體生產晶圓重要微影製程中,需用到的一種精細敏感的高科技感光化學混合材料。微影製程類似攝影跟印刷,要將設計的元件電路圖案成形於光罩上,透過定位曝光機顯影後,再轉移到晶圓的表面層,此轉移過程,晶圓上要先塗佈一層光阻,經曝光後光阻的被曝光區域會起化學變化,再由顯影將電路圖案記錄在光阻層上,透過蝕刻後準確印到晶圓的表面層,光阻便可功成身退地去除。

光阻液佔晶圓生產相當大的費用比重,依晶圓尺寸或製程等需用到光阻的解析度、曝光能量、膜厚與抗蝕刻力等性能不同而價格有別,1公斤從幾千元到幾萬元不等,比陳年老酒還貴,業界形容8吋晶圓用的光阻液價格約跟金門陳年高粱酒差不多行情,先進製程用的光阻液約比金門陳高貴逾10倍。

(記者洪友芳)