台灣為全球EUV微影設備的最大市場，台積電採購量超越美國英特爾、南韓三星。（路透）
記者洪友芳／特稿
荷商艾司摩爾（ASML）為何要在台灣台南科學園區設立極紫外光（EUV）全球技術培訓中心？答案是台灣為全球EUV微影設備的最大市場，台積電採購量超越美國英特爾、南韓三星。
受疫情干擾，SEMI（國際半導體產業協會）日前公布，今年第一季全球半導體製造設備出貨金額較上季減少十三％、下滑至一五五．七億美元；其中，台灣在台積電大舉投資帶動下，以四十．二億美元居全球之首。
隨著半導體製程微縮，微影技術已逐漸達物理限制，全球僅剩英特爾、台積電、三星等半導體大廠，有能力投資昂貴的先進製程技術，啟動EUV微影技術與建置產能；台積電更領先英特爾、三星，繼七奈米製程開始採EUV量產後，五奈米製程更是全產能以EUV技術量產。
台積18廠 EUV高達18台
台積電憑藉技術領先、卓越製造與客戶信賴的三大優勢，即使已不再接華為海思的訂單，五奈米產能仍滿載，並積極擴產，以滿足多家客戶排隊候產的需求。因此，持續向ASML採購EUV設備，僅南科晶圓十八廠，EUV就達十八台之多，讓台灣成為全球極紫外光微影設備的最大市場。
ASML擁有台積電這個大客戶，訂單接不完，看好市場發展，也為了提供大客戶更好的服務，當然選擇在台灣投資設立培訓中心。