〔記者黃佩君／台北報導〕荷蘭半導體設備商艾司摩爾（ＡＳＭＬ）收購漢微科，經濟部表示，之前已掌握雙方合作過程中有論及合併事宜；未來經濟部審查重點將放在合併後是否擴大在台灣投資，若雙方合意未來較先進製程技術在台開發，將對台灣十奈米以下半導體製程有良性影響。
工業局表示，ＡＳＭＬ與漢微科之前就有技術合作；據了解，雙方在合作過程中即有談到併購，已洽談一段時間。而ＡＳＭＬ的主力產品是曝光機，漢微科主力是半導體電子束檢測設備，雙方產品沒有重疊，在產品及未來技術開發上具互補性，兩家合併在技術上可互相支援。
工業局指出，依目前雙方公布資訊，漢微科在台的研發、廠房及員工都繼續維持，未來投資及擴大業務計畫也未改變；希望雙方合併後可將研發能量留在台灣，並繼續擴大投資，也將把此點納入審查考量。
投審會則表示，目前還未收到相關申請案件，此案必須提報漢微科的股東臨時會才生效，ＡＳＭＬ正式遞件且文件收齊後，預計兩個月內可審完。