ASML正在開發新一代EUV，1台喊價4億美元。（路透社）
〔財經頻道／綜合報導〕台積電、三星及英特爾等半導體大廠先進製程大戰開打，EUV需求大增，下世代High-NA EUV 設備因為精密度更高、設計零件更多，價格飆出新天價。路透稱，ASML 正在開發的High-NA EUV，機型比上一代還要大出30%，至少需要三架波音 747 分批運送，估計每台要價4億美元（約台幣118億元）。
《路透》報導，ASML去年第4季High-NA EUV 在手訂單有5台，英特爾在2022年初也下訂，計畫2025年開始交貨，試點訂單則可望於2024年就開始交付。ASML目前正與有半導體業瑞士之稱的IMEC進行合作開發，原型機將在2023年上半年問世。
報導指出，目前EUV設備已經需要三架波音 747 來分批運送，下世代High-NA EUV機器將比前一代大 30% 左右，估計每台要價 4 億美元。
市場調查機構VLSI Research 執行長赫奇森（Dan Hutcheson）強調，High-NA EUV將為晶片製造商提供顯著的優勢，這有點像誰擁有最好的槍，就能搶得先機。
報導也對ASML 因EUV而大發利市表達肯定，強調ASML掌握超過 90% 的曝光機市場，而且因開發成本太高，目前沒有競爭對手試圖建立 EUV 系統。這讓ASML度過了美好的10年，股價飆升 1,000%，市值超過 2000 億歐元。