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台達電高壓精密電源 打入台積電供應鏈4年

2021/12/29 21:49

台達電高壓精密電源登國際半導體展。(記者方韋傑攝)

〔記者方韋傑/台北報導〕台達電(2308)能源基礎設施暨工業解決方案事業群首次參加國際半導體展,展出旗下高壓精密電源,奠基於電力電子核心技術,供應半導體設備所需動力,早在2017年就已打入台積電(2330)供應鏈,參與半導體晶圓製程,台達電提到,目前已與其他半導體設備商大廠做接觸,「也有正在走的案子」。

台達電指出,高壓精密電源可用於半導體、LED、平板顯示器(FPD)、太陽能和一般工業用途的製程設備市場,具備可節省設備能耗的高電能轉換效率,微秒級電弧偵測及專利抑弧設計,以及最高1900伏特寬範圍可調點火電壓,滿足銅及各類靶材製程,可調脈衝頻率最高400KHz有助於提升薄膜品質,生產與服務採在地化,且能即時提供技術支援。

台達電表示,現在半導體電源主要來自國外廠商,礙於技術門檻,台灣國內做的非常稀少,尤其是高壓與微秒應變能力,台達電研發近10年,為半導體設備、濺鍍設備、電漿製程或一般工業設備提供動力。

台達電針對台積電供應商提供半導體製程腔體所需要的電源,在分別通過供應商與台積電檢驗後,於2017年打入台積電供應鏈,現在也已獲得其他半導體供應商大廠認證,相關業務正在密切接觸、合作。