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青海強震波及 台灣晶圓廠黃光機台設備也短暫跳機

2021/05/22 10:49

中國青海7.4強烈地震,但能量大到連台灣晶圓廠的機台設備也感受得到。(資料照)

〔記者洪友芳/新竹報導〕中國青海省果洛藏族自治州瑪多縣22日凌晨2點04分發生規模7.4地震,波及台灣半導體業晶圓廠最敏感的黃光機台設備也短暫跳機,可見強震威力。

中國青海省果洛藏族自治州瑪多縣22日凌晨2點04分發生規模7.4地震,深度僅17公里,雖屬淺層地震,但能量大到台灣晶圓廠的機台設備也感受得到。

台灣部分晶圓廠廠務人員半夜被call回廠,原因是最敏感的黃光機台設備也因出現跳機,需要重新開機,退出晶片,待機台穩定後,測機沒問題後才能回線續生產。

台積電、聯電、力積電等晶圓廠相關設備供應商表示,台灣受波及約1級的地震,但地震長波效應,讓敏感的機台設備也會有感,每家晶圓廠使用的黃光機台設備機型與防震度雖不同,但日系的黃光步進機台對低頻較敏感,確有部分晶圓廠出現自動停機保護的跳機情況,但短暫停機對晶圓廠整體生產影響有限。