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美國再禁DUV設備?三星、SK海力士憂中國廠遭波及

2021/04/13 16:31

圖為ASML的EUV光刻機。(路透)

〔財經頻道/綜合報導〕在前朝川普政府時,便已經禁止向中國出口EUV設備,而美國人工智慧(AI)國家安全委員會(NSCAI)上月建議也該禁向中國出口DUV(深紫外光)光刻機等的半導體製造設備,對此三星電子、SK海力士等韓廠現在已表達擔憂。

韓媒《BusinessKorea》報導,一旦限制實施,三星電子、SK海力士在中國的晶片工廠可能會受到影響。目前,三星電子在中國西安有2家工廠生產第6代3D V-NAND產品;SK海力士在中國無錫亦有2家工廠生產10奈米DRAM。這4家工廠使用的便是DUV光刻機,今年還將引進其他設備。

但若美國計劃收緊限制,三星、SK海力士追加投資的計畫將更不明朗,中國政府已正在要求三星電子儘早進行設備投資。SK海力士子公司「SK海力士系統IC」最近與無錫工業發展集團合作,在中國啟動代工業務,但其工藝開發可能亦會受到美國限制。

漢陽大學教授Park Jae-keun表示,鑑於2個超級大國競爭行業霸權,美國政府可能不批准原定在西安和無錫工廠使用的新設備。「南韓政府需要介入,因為對於牽涉到的各個企業而言此議題過於龐大。」