台積電5奈米製程技術領先全球，吸引國際半導體材料與設備商包括日本信越化學、荷商艾司摩爾等，紛來台灣投資設廠。（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／台北報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）5奈米製程技術不斷往前推進，領先全球，吸引國際半導體材料與設備商包括日本信越化學、荷商艾司摩爾（ASML）等，紛來台灣投資設廠，就近服務大客戶，穩定供應料源。
台積電昨舉行法說會，外資擔心兩岸關係緊張、風險上升；台積電總裁魏哲家強調，不管是地緣政治或任何形式的干擾，台積電都將持續專注在台灣投資，研發中心與多數製造生產的晶圓廠仍將以台灣為重心；至於赴美國亞利桑那州投資設廠，等相關條件符合，投資計畫仍會持續。
信越光阻劑 台灣產能增50％
日經新聞報導，日本信越化學將斥資300億日圓（約81.88億台幣），提高半導體製程關鍵材料光阻劑的產能達20%，並將在日本與台灣兩地各興建工廠，台灣雲林的工廠預計2021年2月開始量產EUV光阻液，以滿足台積電等蘋果供應鏈的需求，台灣規劃產能將增加50%。
此外，荷商艾司摩爾今年因應台積電的需要，也已配合在南科設立荷蘭以外的首座EUV全球技術培訓中心，協助台灣訓練EUV設備人才；國際材料大廠默克（Merck）也擴大在台灣半導體沉積材料的產能比重；外商設備廠與材料廠包括應材、東京威力科創、樂華科技、富士紡精密等，近幾年均擴大在台灣投資設廠。