晴時多雲

晶瑞繞道買二手光刻機 拚自行研製

2020/10/01 05:30

(取自網路)

〔編譯盧永山/綜合報導〕中國因美國實施科技出口禁令,導致半導體產業發展遭到打擊,而光刻機(紫外光微影設備)又是晶片製造的關鍵設備,為了規避美國的出口禁令,近日傳出中國一家國企砸鉅資透過第三方,購買荷蘭光刻機大廠艾司摩爾(ASML)的二手光刻機,以做為研發之用。

光刻機在半導體產業扮演舉足輕重的角色,技術含量和門檻極高,即便是ASML,其在生產光刻機的過程中,也需要採用大量美國技術並獲美國供應商支持,因此ASML要將光刻機賣給誰,必須看美國的臉色。

美國一直阻止ASML將光刻機賣給中國,ASML雖已向美國商務部申請繼續向華為供貨的出口許可,但迄未獲准,促使中國業者採取「曲線救國」 的方式,取得ASML的二手光刻機。

根據搜狐報導,中國光刻膠供應商晶瑞股份(Jingrui)日前公告,將以一一○二.五萬美元(約三.二億台幣)透過新加坡代理商Singtest Technology, 向南韓半導體大廠SK海力士買進二手的ASML光刻機設備,並已在九月二十四日敲定交易;若依報導,晶瑞的主要目標是要打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線,推測應該是深紫外光設備、而非最先進的極紫外光。

報導說,晶瑞不會用這台光刻機生產晶圓,而將用於研製高階光刻膠,並將發行不超過五.五億人民幣(約二十三.五億台幣)的可轉換債券,以進行相關技術的研發,與半導體級高純硫酸等技術改造計畫。

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