漢微科2016年宣布將賣給荷商設備大廠ASML。（資料照）
記者洪友芳／專題報導
3年前，居台股股后的漢微科（3658）以每股1,410元、總金額高達新台幣1,000億元賣給全球半導體設備的龍頭廠商艾斯摩爾（ASML），創下台灣企業被外商收購次高金額案例，消息震撼業界。
漢微科母公司漢民科技以代理設備起家，也曾爭取到艾斯摩爾設備的台灣代理權，長期「為人作嫁」，董事長黃民奇早已萌生自己研發半導體製程設備的念頭；1998年，他結識美國研發團隊招允佳等人，決定投資成立漢微科，投入前瞻的電子束檢測設備領域。
技術有助ASML整合
半導體製程設備進入門檻相當高，漢微科前後共燒錢研發10多年，才成功開發出國內第一台電子束檢測機，營運也才轉虧為盈。2012年5月，漢微科以每股208元上櫃，因電子束檢測市佔率超過8成，獨特利基很快登上台股股后大位。並在三年前被ASML相中，併購成為其100%子公司。
ASML是全球半導體微影設備的龍頭廠，認為漢微科的電子束核心技術能強化ASML的微影技術解決方案。尤其半導體製程往7、5奈米及以下製程發展，相關技術與良率檢測更困難。ASML併漢微科有助整合技術提升，克服挑戰，滿足客戶需求。