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台積電前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅今指出，台積電技術彎道超車英特爾（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）已開始在5奈米製程全採極紫外光（EUV）微影設備，領先全球半導體業，英特爾（Intel）尚未進入EUV量產，台積電前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅今指出，其實大約2002年英特爾還號召組EUV研發聯盟，共6家廠商，台積電無法加入，改採浸潤式（Immersion）微影技術，反而超越英特爾，他也歡迎英特爾加入清大半導體學院的產學合作行列。
清大半導體學院今舉行揭牌儀式，林本堅受訪指出，英特爾其實很早就與摩托羅拉、AMD、IBM等企業一起成立EUV LCC聯盟，一起出錢出力，希望研發機台出來能優惠先採用到60、40奈米等， 共6家參與，最後1家位子被IBM搶到，台積電無法加入，後來想辦法，先採浸潤式（Immersion）微影技術，但EUV直到目前的5奈米才採用，
英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾之外，其他5家並沒有再持續了。
清大半導體學院共與11家企業合作，其中包括台積電、聯電、力積電、美商美光等，英特爾在台灣也需求研發人才，正要大舉進軍晶圓代工領域，林本堅說「也歡迎英特爾加入清大半導體學院的產學合作行列」。
從微影的縮小觀點，林本堅指出，半導體應用範圍越來越廣，量也很大，最低的成本達到最高的果效，這才是挑戰，不一定從EUV技術縮小著手，因成本很貴，划不來，「若有辦法便宜的縮小，就去縮小」，但若有別的辦法更能降低成本，就用別的辦法，不過，不表示半導體技術不需要微影。
林本堅並表示，中芯雖因美國管制，無法取得EUV微影設備，但做到5奈米沒問題，但技術上實際要功力而定。
被問到學院未來培養人才是否會被台積電吸走？林本堅指出，學院提供各家廠商有機會跟學生接觸，有機會跟教授合作 ，學生不只看到台積電，也可以多接觸其他廠商，「各家廠商自己要努力，才能吸引人才」，包括好的薪酬、未來發展，「不要太操」等。
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