晴時多雲

地震影響晶圓廠僅少數晶圓破損 昨晚全恢復生產

2021/10/25 08:51

地震影響晶圓廠僅少數晶圓破損,昨晚全恢復生產(記者洪友芳攝)

〔記者洪友芳/新竹報導〕昨下午1點11分宜蘭發生規模6.5有感地震,新竹科學園區震度達4級,部分晶圓廠無塵室人員立即進行疏散,厰內部分敏感機台也因震動而停機,生產中的晶圓也有一些破損,到昨晚機台陸續恢復正常生產,整體損失比預期小。

昨地震發生後,半導體廠務人員紛趕往公司,原本以為以震度來看,可能會影響生產不小,但這次地震反而對產線受損小,台積電、聯電等晶圓厰的機台設備,除了啟動防震保護的功能之外,部分敏感機台例如黃光機台設備,不免也會因震動而當機,經過調校後,昨晚全恢復生產。生產中的晶圓也有一些破損,不過,估計受損晶圓約百餘片。

台積電表示,依內部程序規定,北區部分廠區無塵室人員地震時已進行疏散以確保安全,工安系統正常。聯電竹科8吋廠也有1作厰進行人員疏散,部分機台啟動保護裝置停機。世界先進的竹科桃園廠各廠人員也進行疏散,公司的生產及營運未受影響。

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